번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73034
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17630
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86031
426 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1664
425 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1666
424 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1671
423 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1677
422 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1681
421 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1697
420 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1718
419 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1721
418 CVD 공정에서의 self bias [1] 1723
417 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1747
416 etching에 관한 질문입니다. [1] 1763
415 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1778
414 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1792
413 chamber impedance [1] 1794
412 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1796
411 가입인사드립니다. [1] 1816
410 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1847
409 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1850
408 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1852
407 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1862
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