번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4892
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16230
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63749
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83517
398 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 1712
397 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1717
396 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1730
395 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1756
394 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1777
393 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1785
392 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1793
391 가입인사드립니다. [1] 1799
390 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1804
389 Si Wafer Broken [2] 1844
388 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1873
387 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1878
386 플라즈마볼 제작시 [1] file 1890
385 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1911
384 Wafer particle 성분 분석 [1] 1926
383 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1953
382 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1961
381 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2008
380 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2010
379 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2015

Boards


XE Login