Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1390

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76792
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20229
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68723
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92479
511 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1380
» 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1390
509 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1394
508 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1394
507 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1395
506 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1403
505 플라즈마 관련 교육 [1] 1409
504 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1416
503 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1425
502 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1428
501 MATCHER 발열 문제 [3] 1431
500 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1432
499 Ar plasma power/time [1] 1437
498 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1443
497 ICP lower power 와 RF bias [1] 1445
496 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1450
495 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1452
494 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1456
493 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1460
492 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1462
쓰기
태그

Boards

XE Login