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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1282 |
538 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1286 |
537 |
플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
[2] | 1300 |
536 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1305 |
535 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1313 |
534 |
플라즈마 챔버
[2] | 1335 |
533 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1337 |
532 |
PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
[1] | 1340 |
531 |
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다.
[1] | 1349 |
530 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1350 |
529 |
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1] | 1352 |
528 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
[3] | 1365 |
527 |
I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 1369 |
526 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1369 |
525 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1370 |
524 |
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1375 |
523 |
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1] | 1410 |
522 |
수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1413 |
521 |
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3] | 1419 |
520 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1424 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.