DC glow discharge 플라즈마 압력에 대하여
2017.11.10 11:27
안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.
이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요
power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에
압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.
power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 509 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1386 |
| 508 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1388 |
| 507 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
| 506 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1402 |
| 505 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1408 |
| 504 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1409 |
| 503 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1419 |
| 502 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1423 |
| 501 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1425 |
| 500 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 499 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1436 |
| 498 | Ar plasma power/time [1] | 1437 |
| 497 | PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] | 1442 |
| 496 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1445 |
| 495 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1445 |
| 494 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1453 |
| 493 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1454 |
| 492 | 알고싶습니다 [1] | 1458 |
| 491 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
| 490 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1460 |
Glow discharge를 공부하면 쉽게 이해가 됩니다 (본 게시판에서 수차례 설명을 했습니다. 참고하시기 바랍니다). 즉, 플라즈마 내에서 전자가 에너지를 효과적으로 받고 얻은 에너지를 원자/분자에 효과적으로 전달함으로써 빛이 밝아지겠고, 그렇지 못하면 빛의 세기가 줄어들 것입니다. 즉, 전자의 에너지 획득의 과정으로 해석을 해 보기 바랍니다.