CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76701
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20156
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68682
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92222
507 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1393
506 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
505 플라즈마 관련 교육 [1] 1402
504 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1407
503 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1409
502 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1419
501 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1420
500 MATCHER 발열 문제 [3] 1429
499 ICP lower power 와 RF bias [1] 1430
498 Ar plasma power/time [1] 1435
497 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1439
496 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1440
495 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1443
494 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1443
493 알고싶습니다 [1] 1450
492 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1452
491 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1455
490 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1457
489 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463
488 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463

Boards


XE Login