번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55511
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85997
404 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1907
403 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1941
402 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1950
401 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1980
400 플라즈마볼 제작시 [1] file 2009
399 Si Wafer Broken [2] 2026
398 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2038
397 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2040
396 Wafer particle 성분 분석 [1] 2048
395 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2081
394 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2092
393 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2093
392 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2117
391 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2124
390 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2124
389 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2164
388 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2171
387 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2202
386 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2208
385 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2247

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