공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[262]
| 76503 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20046 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57103 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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482 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1463 |
481 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1481 |
480 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1514 |
479 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1542 |
478 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1551 |
477 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1567 |
476 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1577 |
475 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1588 |
474 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1603 |
473 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1610 |
472 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1631 |
471 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1644 |
470 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1653 |
469 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1658 |
468 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1659 |
467 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1674 |
466 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1678 |
465 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1688 |
464 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 1693 |
463 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1704 |