번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75752
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19439
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56665
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67998
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90225
457 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1669
456 터보펌프 에러관련 [1] 1670
455 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1694
454 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1708
453 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1716
452 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1722
451 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1727
450 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1730
449 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1733
448 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1753
447 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1755
446 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1760
445 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1765
444 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1787
443 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1795
442 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1795
441 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1801
440 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1812
439 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1814
438 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1816

Boards


XE Login