안녕하세요.

대학원에서 플라즈마에 대해 공부하고 있습니다. 

플라즈마 생성 후 절연체를 넣고 쉬스가 생성된 후에 

플라즈마에서 기판으로 갈 때 전자는 지수적으로, 이온은 선형적으로 감소한다고 하는데

그 이유가 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
521 low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전] [1] 1444
520 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1445
519 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1446
518 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance] [1] 1454
517 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1458
516 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1474
515 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 1481
514 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance] [1] 1486
513 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1491
512 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1500
511 Plasma Cleaning 관련 문의 [Remote plasma source] [1] 1500
510 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1502
509 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1502
508 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1503
507 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 1509
506 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1509
505 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1511
504 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1514
503 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 1518
502 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1519

Boards


XE Login