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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20251
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68742
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92581
496 ICP lower power 와 RF bias [1] 1454
495 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1456
494 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1457
493 알고싶습니다 [1] 1463
492 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1463
491 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1465
490 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
489 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1466
488 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1466
487 charge effect에 대해 [2] 1468
486 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1502
485 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1510
484 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1512
483 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1524
482 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1534
481 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1535
480 plasma 형성 관계 [1] 1536
479 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1568
478 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1605
477 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1617
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