번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5807
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17213
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53041
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64478
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85095
378 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2226
377 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2229
376 Plasma etcher particle 원인 [1] 2236
375 임피던스 매칭회로 [1] file 2260
374 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2266
373 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2289
372 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2335
371 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2375
370 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2405
369 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2442
368 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2445
367 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2452
366 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2455
365 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2473
364 PR wafer seasoning [1] 2478
363 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2536
362 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2537
361 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2584
360 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2644
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2666
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