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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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터보펌프 에러관련
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
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wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1756 |
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PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1764 |
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1784 |
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매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1788 |
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RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1821 |
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ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1826 |
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1858 |
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Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 1861 |
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쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1862 |
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RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1] | 1864 |
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압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 1866 |
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RF generator 관련 문의드립니다
[3] | 1877 |
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가입인사드립니다.
[1] | 1879 |
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유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1881 |
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Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1887 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1902 |
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 1903 |