안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76699
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20156
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92221
467 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1701
466 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1719
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1730
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
463 터보펌프 에러관련 [1] 1753
462 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1782
461 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1788
460 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1805
459 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1833
458 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1840
457 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1841
456 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1841
455 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1842
454 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1859
453 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
452 가입인사드립니다. [1] 1880
451 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1887
450 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1897
449 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1899
448 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1908

Boards


XE Login