진공상태에서 ESC 표면의 온도가 모두 같지는 않기 때문에 Inner랑 outer에서 조금의 온도 차이가 있을 텐데

 

이러한 온도 차이 때문에 wafer에서의 식각률의 차이가 어떤 이유로 있는건지 알 수 있을까요??

온도별로 영역별 식각정도가 다를 경우가 있는데 어떤 이유가 있을지 궁금해서요

 

도움 부탁드립니다! 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76699
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20156
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92221
467 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1701
466 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1719
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1730
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
463 터보펌프 에러관련 [1] 1753
462 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1782
461 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1788
460 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1805
459 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1834
458 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1840
457 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1841
456 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1841
455 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1842
454 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1859
453 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
452 가입인사드립니다. [1] 1880
451 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1887
450 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1897
449 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1899
448 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1908

Boards


XE Login