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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68906
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466 터보펌프 에러관련 [1] 1783
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1797
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1822
463 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1838
462 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1841
461 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1877
460 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1878
459 가입인사드립니다. [1] 1881
458 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1883
457 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1916
456 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1920
455 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1927
454 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1931
453 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1933
452 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1936
451 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1959
450 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1962
449 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1969
448 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1977
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