Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1952

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76794
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20230
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68723
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92511
451 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1900
450 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1902
449 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1914
448 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1916
447 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1918
446 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1947
» 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1952
444 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1956
443 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1959
442 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1961
441 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1967
440 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1976
439 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1988
438 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1993
437 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1995
436 chamber impedance [1] 2011
435 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2012
434 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2031
433 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2035
432 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2058
쓰기
태그

Boards

XE Login