Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1953

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76814
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20241
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92571
455 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1877
454 가입인사드립니다. [1] 1880
453 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1880
452 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1901
451 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1901
450 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1909
449 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1916
448 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1917
447 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1919
446 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1949
» 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1953
444 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1956
443 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1962
442 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1964
441 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1970
440 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1978
439 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1998
438 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1998
437 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1999
436 chamber impedance [1] 2012
쓰기
태그

Boards

XE Login