번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [252] 76385
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91227
411 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2257
410 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2260
409 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2267
408 Wafer particle 성분 분석 [1] 2269
407 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2270
406 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2273
405 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2311
404 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2314
403 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2324
402 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2356
401 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2400
400 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2405
399 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2412
398 Si Wafer Broken [2] 2429
397 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2434
396 질문있습니다. [1] 2509
395 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2539
394 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2548
393 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2562
392 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2562

Boards


XE Login