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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20076 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2225 |
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Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 2228 |
421 |
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2243 |
420 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 2243 |
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DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 2247 |
418 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2250 |
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 2252 |
416 |
안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 2270 |
415 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
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414 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 2278 |
413 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2287 |
412 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 2292 |
411 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 2293 |
410 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2294 |
409 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 2295 |
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Wafer particle 성분 분석
[1] | 2304 |
407 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 2306 |
406 |
플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
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405 |
RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY
[1] | 2340 |
404 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 2345 |