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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76979
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111247
816 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 494
815 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 494
814 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 496
813 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 498
812 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 516
811 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 519
810 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 527
809 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 530
808 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 532
807 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 532
806 Druyvesteyn Distribution 546
805 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 549
804 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 552
803 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 552
802 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 560
801 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 564
800 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 565
799 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 573
798 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 574
797 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 574
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