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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1506
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2194
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49509
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59717
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75596
623 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 204
622 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 205
621 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 221
620 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 221
619 RF 전압과 압력의 영향? [1] 223
618 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 224
617 라디컬의 재결합 방지 [1] 225
616 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 226
615 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 234
614 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 238
613 anode sheath 질문드립니다. [1] 245
612 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 247
611 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 255
610 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 264
609 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 270
608 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 274
607 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 278
606 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 281
605 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 286
604 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 291

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