Deposition Compressive한 Wafer에 대한 질문

2023.06.03 11:56

CVDENG'R 조회 수:235

현재 반도체회사에서 CVD 엔지니어로 근무중에 있습니다.

최근 CuSi 공정에서 지속적으로 Thickness에 문제가 발생하여 Wafer Map을 확인하게 되면 Compressive한 Map으로 관찰되고 있습니다.

Wafer를 Compressive하게 변화하게 만드는 source가 대부분 어떤게 있는지 알 수 있을까요? (Ex. AlF, Plasma, Temp ETC)

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76845
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20252
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92603
776 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 139
775 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 142
774 ICP에서 전자의 가속 [1] 151
773 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 152
772 skin depth에 대한 이해 [1] 160
771 corona model에 대한 질문입니다. [1] 170
770 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 170
769 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 171
768 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 173
767 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 182
766 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 183
765 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 187
764 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 190
763 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 202
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 204
761 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 207
760 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 212
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 216
758 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
» Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 235
쓰기
태그

Boards

XE Login