안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [144] 5911
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17362
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53183
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65117
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85209
679 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 252
678 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 264
677 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 269
676 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 271
675 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 282
674 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 285
673 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 303
672 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 307
671 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 317
670 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 317
669 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 319
668 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 329
667 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 330
666 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 335
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 349
664 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 350
663 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 351
662 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 352
661 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 355
660 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 360

Boards


XE Login