Others Full Face Erosion 관련 질문

2008.12.16 08:24

이태성 조회 수:19461 추천:193

안녕하세요.
Full face erosion 관련 자료를 찾던 중 이곳까지 오게되었습니다. 인터넷검색으로는 자료를 찾을수가 없어서
이렇게 글을 올립니다.

high deposition rate가능, long time process가능, 간단한 process control
등의 장점은 대충 알고 있으나, 어떠한 구조인지, 어떠한 원리로 위의 장점들이 가능한지,
단점은 무엇인지, 기존 sputter와 차이점 등등 FFE에 대한 자세한 내용을 알고싶습니다.

답변해 주시면 정말 많은 도움이 될 것같습니다.
자료를 올려주셔도 괜찮습니다 ^^;;;
사회초년생으로서 배울것이 너무 많은것 같네요.
염치없지만 부탁드립니다 ㅠ.ㅠ      

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76868
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92693
163 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 406
162 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 410
161 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 424
160 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 472
159 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 488
158 PECVD Uniformity [1] 543
157 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 548
156 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 557
155 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 562
154 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 612
153 RF Sputtering Target Issue [2] file 612
152 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 619
151 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 621
150 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 623
149 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
148 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 672
147 Polymer Temp Etch [1] 673
146 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 695
145 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 705
144 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 723
쓰기
태그

Boards

XE Login