Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:144

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77000
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20343
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57266
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68810
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92809
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 128
780 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 130
779 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 140
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 144
777 Microwave & RF Plasma [1] 146
776 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 151
775 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 157
774 corona model에 대한 질문입니다. [1] 172
773 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 174
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 176
771 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 176
770 skin depth에 대한 이해 [1] 186
769 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 190
768 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 192
767 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 198
766 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 198
765 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 209
764 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 213
763 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 214
762 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 215
쓰기
태그

Boards

XE Login