ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:714

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68693
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92268
768 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 159
767 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
766 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 169
765 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
764 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 173
763 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
762 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 187
761 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 196
760 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 198
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 205
758 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
757 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 207
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 214
755 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
754 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 228
753 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 231
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
751 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 250
750 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 250
749 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 272
쓰기
태그

Boards

XE Login