번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20044
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91538
382 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2839
381 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2841
380 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2871
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2905
378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2919
377 CVD 공정에서의 self bias [1] 3005
376 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3041
375 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3072
374 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3116
373 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3136
372 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3149
371 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3161
370 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3170
369 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3184
368 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3294
367 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3300
366 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3310
365 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3323
364 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3346
363 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3365

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