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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68016
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357 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3372
356 ESC Cooling gas 관련 [1] 3377
355 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3383
354 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3411
353 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3422
352 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3502
351 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3516
350 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3521
349 Descum 관련 문의 사항. [1] 3568
348 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3637
347 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3639
346 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3701
345 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 3702
344 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3792
343 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3846
342 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3883
341 플라즈마 색 관찰 [1] 3943
340 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 3972
339 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 3973
338 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3974
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