안녕하세요. 저는 KIST에서 Plasma Actuator를 연구하고 있는 학생입니다.

절연유와 같이 전기가 통하지 않는 액체에서 Dielectric Barrier Discharge 방식을 통하여 Plasma를 발생시킬 수 있는 지에 대해

궁금증이 생겨서 이렇게 글을 남기게 되었습니다.

1. 혹시 생성이 가능하다면 일반 공기 중에서 발생되는 Plasma와 세기나 기타 여러 특성에서 어떠한 차이가 있는지

2. 그리고 절연유가 아닌 일반 전기가 통하는 액체(물과 같은)에서 발생되는 Plasma는 공기에서 발생되는 Plasma와 어떤 차이가 있는지

알려주실 수 있으신가요?

제 전공이 기계공학이라 Plasma를 이해하기에 너무나도 어려움이 많습니다 ㅠㅠ 도와주세요!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76733
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20204
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
389 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2727
388 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2744
387 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2765
386 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2781
385 임피던스 매칭회로 [1] file 2804
384 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2820
383 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2873
382 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2873
381 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2892
380 RF matcher와 particle 관계 [2] 2919
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2967
378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2974
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3052
376 CVD 공정에서의 self bias [1] 3101
375 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3162
374 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3184
372 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3196
371 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3204
370 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3278

Boards


XE Login