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383 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2879
382 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2882
381 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2903
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378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2992
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3056
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