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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20047
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68586
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91567
362 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3378
361 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3433
360 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3484
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3486
358 ESC Cooling gas 관련 [1] 3501
357 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3526
356 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3548
355 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3594
354 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3612
353 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3620
352 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3623
351 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3642
350 Descum 관련 문의 사항. [1] 3692
349 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3734
348 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3817
347 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3847
346 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3894
345 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3946
344 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3953
343 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3975

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