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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20206 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57168 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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369 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3299 |
368 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3324 |
367 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3325 |
366 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3384 |
365 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3409 |
364 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3414 |
363 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3443 |
362 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 3446 |
361 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3512 |
360 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3530 |
359 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3533 |
358 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3536 |
357 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3557 |
356 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3618 |
355 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3646 |
354 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3690 |
353 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3708 |
352 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3721 |
351 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 3753 |
350 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 3774 |