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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20230 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68723 |
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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371 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3214 |
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370 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3309 |
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369 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3324 |
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368 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3326 |
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367 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3327 |
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366 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3399 |
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365 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3421 |
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364 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3425 |
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363 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3444 |
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362 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 3462 |
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361 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3527 |
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360 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3538 |
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359 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3543 |
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358 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3551 |
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357 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3558 |
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356 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3632 |
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355 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3653 |
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354 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3701 |
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353 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3723 |
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352 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3727 |
