안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 108108
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26439
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63597
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75276
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108795
415 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간] [2] 2912
414 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다.(챔버쪽 임피던스 검출) [플라즈마 특성과 장비 임피던스] [1] file 2943
413 PR wafer seasoning [Particle balance, seasoning] [1] 2967
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2968
411 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2972
410 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 2981
409 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2982
408 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2996
407 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect] [1] 3013
406 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 3016
405 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 3023
404 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 3031
403 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절] [1] 3117
402 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 3131
401 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 3150
400 RIE에 관한 질문이 있습니다. [Sheath 이온 거동 및 bias power] [1] 3160
399 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 3191
398 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 3253
397 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3267
396 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3270

Boards


XE Login