Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1389

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
369 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3300
368 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3324
367 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3325
366 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3384
365 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3409
364 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3415
363 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3443
362 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3447
361 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3512
360 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3531
359 ESC Cooling gas 관련 [1] 3533
358 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3536
357 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3557
356 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3621
355 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3646
354 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3691
353 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3709
352 Descum 관련 문의 사항. [1] 3721
351 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3753
350 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3775

Boards


XE Login