번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77227
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
366 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3460
365 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3463
364 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3482
363 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3497
362 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3546
361 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3568
360 ESC Cooling gas 관련 [1] 3589
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3607
358 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3620
357 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3631
356 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3696
355 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3703
354 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3748
353 Descum 관련 문의 사항. [1] 3790
352 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3863
351 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3868
350 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3875
349 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3979
348 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3988
347 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 4010

Boards


XE Login