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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92162
327 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 5817
326 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5894
325 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5923
324 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5980
323 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6066
322 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6168
321 자료 요청드립니다. [1] 6205
320 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6235
319 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6264
318 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6363
317 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6393
316 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6409
315 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6417
314 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6433
313 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6464
312 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6467
311 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6491
310 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6537
309 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6539
308 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569

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