Others 플라즈마의 상태

2004.06.19 16:56

관리자 조회 수:14067 추천:270

플라즈마는 전기적으로 준 준성상태를 유지하고 있습니다. 이는 전자들과 이온들의 양이 거의 같은 수로 존재함을 의미합니다. 하지만 질문에서 처럽 negative ion 즉 중성 입자에 전자의 attechement process에 의해서 음 전하를 갖느 이온들이 있는 경우 플라즈마는 양이온, 음이온, 전자들로 구성되게 됩니다. (음이온의 양은 중성입자에 전자의 흡착으로 만들어 짐으로 음이온 발생량만큼 전자의 수는 줄게 됩니다.) 이때양이온과 음이온은 질량 크기는 같으나 하전극성이 반대가 되며 음이온과 전자들은 하전 극성은 같으나 그 질량의 크기는 다르게 됩니다. 이 경우도 플라즈마 내에느 준 중성 상태가 그대로 유지됨으로 양이온 밀도= 음이온 밀도+ 전자 밀도의 조건이 성립하게 되며 책에서는 이경우를 언급하고 있는 것 입니다. 음이온이 발생하는 경우는 주기률 표의 7족 물질들의 전자 친화력이 켜서 쉽게 전자들과 결합을 잘하게 되어 음이온의 발생이 큽니다. 이들 7족 물질(F, cl2 etc)들은 대개 식각개스로 사용되어서 식각개스로 사용되어서 식각 플라즈마에서는 이 같은 electro-negative 한 plasma의 형성이 빈번하게 일어나게 돕니다. 또한 에칭 등에사용되는 산소 플라즈마에서도 음이온의 발생은 압력 조건에 따라 매우 민감하게 형성되며 이러한 결과는 저희 실혐실 연구에서도 잘 나타나고 있습니다. 설명이 도움이 되길 바람니다.

플라즈마를 공부하다 이해가 되지 않는 부분이 있어서 이렇게 게시판에 올립니다.
책에 있는 내용을 그대로 적겠습니다.

the concertration of negative ions usually is substantially less than the concentration of positive ions because of the charge neutrality requirement for the glow discharge(i.e. density of electrons negative ion = density of positive ions)    
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
323 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6046
322 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6126
321 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6201
320 자료 요청드립니다. [1] 6202
319 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6254
318 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6358
317 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6361
316 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6392
315 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6408
314 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6416
313 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6428
312 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6454
311 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6464
310 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6484
309 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6535
308 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
307 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6620
306 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7065
305 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7162
304 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7594

Boards


XE Login