Collision 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
2014.05.02 15:51
플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요
분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.
근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서 위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.
이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요
혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76868 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92693 |
317 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
316 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6419 |
315 | O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] | 6431 |
314 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6451 |
313 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6472 |
312 | 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] | 6492 |
311 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6499 |
310 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
309 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6570 |
308 | 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] | 6671 |
307 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6682 |
306 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 7109 |
305 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 7261 |
304 | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7644 |
303 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7658 |
302 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
301 | MFP에 대해서.. [1] | 7830 |
300 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8052 |
299 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8126 |
비이송식 플라즈마 토치를 이용해서 기체를 분해할 때의 현상에 대한 것으로 미루어 짐작됩니다.
또한 공간상 밀도가 저온영역에서 높아진다는 것으로 미루어 볼 때 분해종이 분사되는 과정에서
단순하게 확산되는것이 아니라 계속해서 화하반응을 하고 있는 것으로 이해 됩니다.
만약 전극과 전극 사이에서 플라즈마 기둥이 형성된, 즉 플라즈마 방전이 이뤄지는 공간내에서의 결과라면
이는 전자와의 에너지교환이 주 원인이 됩니다.
해당 분해종의 rotational energy 준위가 다른 종들에 비해서 낮을 경우 온도가 높아질 수 있습니다.
플라즈마 분사영역에서의 결과라면 이는 다른 분해종들과의 화학반응에 따른 결과입니다.
각 분해물들의 화학반응은 분사영역에서의 엔탈피와 온도에 크게 영향을 받게 됩니다.
말씀하신 분해종이 고온영역에서는 rotational temperature가 높고 저온영역에서 밀도가 높아진다면,
그 분해종을 형성할 수 있는 화학반응이 저온영역에서 활발하다는 뜻이 됩니다.
내부에서 rotational 온도가 높다는 것은 그 영역에서는 다른 분해종과의 에너지 교환이 적은 것입니다.
이 부분은 해당 분해종의 구성물/다른 분해종과의 질량차가 주 원인이 됩니다.
예를들어 OH와 같이 무게 중심이 O 쪽으로 치우친 화학종의 경우 N2와 같이 질량이 동일한 분자에 비해서
rotational temperature와 vibrational temperature가 대체적으로 높게 형성됩니다.
플라즈마 토치에서 분자의 rotational temperature에 대해서는 논문들이 다수 보고되어 있으니
참고해보시기 바랍니다.
감사합니다.