Others 플라즈마의 상태

2004.06.19 16:56

관리자 조회 수:14058 추천:270

플라즈마는 전기적으로 준 준성상태를 유지하고 있습니다. 이는 전자들과 이온들의 양이 거의 같은 수로 존재함을 의미합니다. 하지만 질문에서 처럽 negative ion 즉 중성 입자에 전자의 attechement process에 의해서 음 전하를 갖느 이온들이 있는 경우 플라즈마는 양이온, 음이온, 전자들로 구성되게 됩니다. (음이온의 양은 중성입자에 전자의 흡착으로 만들어 짐으로 음이온 발생량만큼 전자의 수는 줄게 됩니다.) 이때양이온과 음이온은 질량 크기는 같으나 하전극성이 반대가 되며 음이온과 전자들은 하전 극성은 같으나 그 질량의 크기는 다르게 됩니다. 이 경우도 플라즈마 내에느 준 중성 상태가 그대로 유지됨으로 양이온 밀도= 음이온 밀도+ 전자 밀도의 조건이 성립하게 되며 책에서는 이경우를 언급하고 있는 것 입니다. 음이온이 발생하는 경우는 주기률 표의 7족 물질들의 전자 친화력이 켜서 쉽게 전자들과 결합을 잘하게 되어 음이온의 발생이 큽니다. 이들 7족 물질(F, cl2 etc)들은 대개 식각개스로 사용되어서 식각개스로 사용되어서 식각 플라즈마에서는 이 같은 electro-negative 한 plasma의 형성이 빈번하게 일어나게 돕니다. 또한 에칭 등에사용되는 산소 플라즈마에서도 음이온의 발생은 압력 조건에 따라 매우 민감하게 형성되며 이러한 결과는 저희 실혐실 연구에서도 잘 나타나고 있습니다. 설명이 도움이 되길 바람니다.

플라즈마를 공부하다 이해가 되지 않는 부분이 있어서 이렇게 게시판에 올립니다.
책에 있는 내용을 그대로 적겠습니다.

the concertration of negative ions usually is substantially less than the concentration of positive ions because of the charge neutrality requirement for the glow discharge(i.e. density of electrons negative ion = density of positive ions)    
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19990
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91267
296 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8108
295 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8480
294 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8514
293 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8547
292 핵융합에 대하여 8560
291 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8566
290 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8581
289 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8594
288 수중플라즈마에 대해 [1] 8698
287 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8878
286 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8924
285 안녕하세요 교수님. [1] 8971
284 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9168
283 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9255
282 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9470
281 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9488
280 대기압 플라즈마에 대해서 9609
279 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9646
278 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9768
277 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9825

Boards


XE Login