어떤  실험을 하는 도중에 플라즈마가 생기는 과정을 목격하게 되었습니다.

그래서 플라즈마에 대해 여러가지 조사를 해보았는 데, 별다른 정보를 얻을 수 없어서 질문 해봅니다.

1. 공기 중에서 플라즈마가 생기는 메커니즘이 자세하게 어떻게 되나요??

2.  플라즈마가 양극에서 먼저 생기고 음극쪽으로 다가가는 현상이 나타나는 데 이유가 무엇인가요?

3. 플라즈마가 한 쪽 전극으로 끌려가는 현상이 가능한가요? 가능하다면 끌려가는 과정도 알고 싶습니다.

부탁드립니다! 감사합니다^^ 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102672
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24671
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61378
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73451
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105767
353 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 4439
352 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss] [3] 4520
351 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [세정 시간 및 식각 효율] [1] 4555
350 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4568
349 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas] [1] 4586
348 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4707
347 Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor] [3] 4770
346 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [Sputtering 및 particle issue] [1] 4785
345 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [장치 구조에 따른 공간 분포] [2] 4897
344 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응] [1] 4908
343 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수] [1] 4918
342 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4977
341 RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage] [2] 5075
340 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant] [4] 5286
339 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5456
338 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length] [1] 5698
337 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건] [3] 5716
336 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [Plasma impedance와 Matcher] [2] 5742
335 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달] [1] 5775
334 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5940

Boards


XE Login