CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
2016.12.15 13:35
안녕하세요?
제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다.
http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou
위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 309 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6569 |
| 308 | 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] | 6579 |
| 307 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
| 306 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 7089 |
| 305 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 7229 |
| 304 | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7620 |
| » | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7649 |
| 302 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
| 301 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
| 300 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8034 |
| 299 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
| 297 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 296 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8141 |
| 295 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
| 294 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
| 293 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
| 292 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8596 |
| 291 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8618 |
| 290 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8648 |
CCP 방전은 전극 사이에 플라즈마 유전체가 놓여 있는 형태로 방전이 전극의 전기장에 의해 유지되는장치 를 포괄적으로 지칭하는 말이라도 이해하시고, 전극의 재료와 방전조건에 따라서 유전체를 강조하는 유전체 격벽 방전(DBD;dielectric barrier discharge)가 있고, 공정용CCP 장치등이 있습니다. CCP와DBD는 여러차례 소개가 되었으니 게시판의 내용을 참고하시기 바랍니다.