B dot 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
2017.11.27 04:58
플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?
로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] | 76745 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20214 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92303 |
309 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6569 |
308 | 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] | 6581 |
307 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
306 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 7089 |
305 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 7229 |
304 | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7620 |
303 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7652 |
302 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
301 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
300 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8035 |
299 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
297 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
296 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8148 |
295 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
294 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
293 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
292 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8598 |
291 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8619 |
290 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8650 |
로고스키 코일은 플라즈마 전류로 부터 발생하는 자기장을 유도 기전력으로 측정하는 장치로서, Faraday's induction 법칙을 활용함으로 b-dot probe라고도 표현이 됩니다. 기전력 값을 키우기 위해서 coil turn 수가 늘어나게 되고, coil를 잘 감고 내부 기생 전압을 제거하기 위해 coil의 역방향을 추가하는 등의 tip이 있습니다만, 기본적인 플라즈마 진단 방법이니 plasma diagnostics 관련 자료를 보면 구동 원리와 제작 방법을 확인하실 수 있겠습니다. 많은 경우 제작 한 후에 calibration 과정을 거쳐 민감도를 향상시키게 됩니다.