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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73154
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313 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient] [1] file 6887
312 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [물리적/화학적 세정] [4] 6910
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310 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 7061
309 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 7157
308 ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성] [1] 7547
307 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 7744
306 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전] [1] 7920
305 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG] [2] 7950
304 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [RRC 연구센터 문의] [1] 7956
303 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8038
302 MFP에 대해서.. [Collisional cross section] [1] 8077
301 고온 플라즈마 관련 8156
300 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power] [1] 8159
299 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8289
298 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8354
297 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8370
296 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8630
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