Sputtering 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다.
2012.04.01 11:51
ICP chamber 방식이며 Generator는 13.56MHz, 1.5kw두개를 사용할경우
matcher제작 or 분석을 하려는데 국내, 일본 회사에서는 불가능 할것 같다고 합니다.
미국의 AE, MKS를 제외하고 RF matcher나 Generator 방면에서 기술력을 갖고 있는
회사가 있을까요?
혹시 알고 계신곳이 있으면 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76997 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20341 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57264 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68808 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92807 |
| 281 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9544 |
| 280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |
| 279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9678 |
| 278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
| 277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9890 |
| 276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10029 |
| » | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10324 |
| 274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10386 |
| 273 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10388 |
| 272 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10499 |
| 271 | RGA에 대해서 | 10552 |
| 270 | DC bias (Self bias) [3] | 11319 |
| 269 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11497 |
| 268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11515 |
| 267 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11544 |
| 266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12366 |
| 265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12546 |
| 264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12775 |
| 263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12813 |
| 262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13069 |
국내회사로 '플라즈마트'란 회사가 있습니다. 아울러 독일계 회사로 '휘팅거-Huttinger' 등을 알고 있습니다. 도움이 되기를 바랍니다.