capacitively/inductively coupled plasma

한가지 잘 못 이해하고 있는 것이 있습니다. 전극이 반응기 내외부에 있는 여부로 ICP/CCP 플라즈마를 구별하지 않습니다.
일반적으로 capacitively coupled plasma 는 전극 사이에 형성되는 전기장에 의해 전자가속이 일어나 에너지를 얻어 이온화에
의해 만들어진 플라즈마를 의미하며 Inductively coupled plasma는 말 그대로 안테나에 흐르는 전류에서 형성된 자기장이 시간이
따라서 변할 때 자기장 주변으로 형성되는 전기장으로 부터 전자가 가속 에너지를 얻고 이온화를 통해 만들어진 플라즈마를
의미하는 말로써 써야 합니다. 물론 일반적인 ICP 반응기에서 CCP현상에 의한 플라즈마 발생이 일어나기도 합니다.
약간의 혼돈은 여기서 생길 수 있습니다만 두 현상을 구분해서 이해하는 것이 좋습니다.
아울러 다음 항을 참고하기 바랍니다. (271/259/225/205/126/95)
냉각수로 power leak가 있을 수도 있습니다. 일반 가정용 물을 냉각수로 사용하는 것은 좋은 방법이 아닙니다. 적어도 증류수를 사용하도록 하는 편이 옳습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103309
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24714
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61523
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105945
294 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8835
293 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8949
292 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9057
291 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 9156
290 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9205
289 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9340
288 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9443
287 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9481
286 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9567
285 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9637
284 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9660
283 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9799
282 대기압 플라즈마에 대해서 9807
281 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9857
280 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9935
279 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9999
278 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입] [1] 10347
277 ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생] [1] 10480
276 플라즈마 PIC 질문드립니다. [PIC simulation] [1] 10687
275 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10708

Boards


XE Login