DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76774 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20224 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68721 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92385 |
251 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
250 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15158 |
249 | 박막 형성 | 15299 |
248 | 우주 플라즈마 | 15349 |
247 | In-flight plasma process | 15504 |
246 | 핵융합반응/플라즈마 | 15520 |
245 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15621 |
244 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15645 |
243 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15657 |
242 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15804 |
241 | Sputter | 15884 |
240 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15885 |
239 | corona | 15887 |
238 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15920 |
237 | k star | 15957 |
236 | 역 수소폭탄에 대하여... | 16009 |
235 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
234 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16036 |
233 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16068 |
232 | 궁금합니다 [1] | 16177 |