번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20043
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91538
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 303
741 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 309
740 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 312
739 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 312
738 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 326
737 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 329
736 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 330
735 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 338
734 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 345
733 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 347
732 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 352
731 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 352
730 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 371
729 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 371
728 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 372
727 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 373
726 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 375
725 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 378
724 plasma modeling 관련 질문 [1] 379
723 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 384

Boards


XE Login