Others Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다.

2023.10.19 19:41

ejd420 조회 수:313

안녕하십니까 

플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.

 

혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다. 

 

추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.

( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)

 

아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76828
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20251
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68743
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92581
756 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 243
755 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 251
754 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 251
753 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 253
752 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 253
751 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 264
750 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 266
749 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 275
748 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 292
» Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 313
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 317
745 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 320
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 320
743 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 323
742 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 326
741 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 340
740 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 342
739 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 352
738 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 355
737 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 357
쓰기
태그

Boards

XE Login