안녕하세요 PECVD 설비를 맡고 있는 엔지니어입니다.

현업에 종사하고 있음에도 알기 어려운 것들을, 교수님을 통해 알아가며 업무에 정말 많은 도움이 됩니다, 감사드립니다.

 

이번에 드리고자 하는 질문은 Sheath에 걸리는 전압 및 전력에 대한 것 입니다. 

임피던스 매칭을 공부하며 파워는 저항에서만 소모되고 C나 L 같은 리엑턴스에서는 위상지연만 일어난다는 것을 알았습니다.

하지만 이해가 안가는 부분이 있습니다.

 

챔버를 임피던스로 표현할 땐, 플라즈마 Bulk는 R(저항)으로 표현되고, Sheath는 C(커패시터)로 표현할 수 있는데, 이 때 Power는 저항인 Plasma Bulk에서만 소비된다고 이해 했습니다.

그런데, Self Bias관련 자료에서는, Sheath에서 대부분의 전압강하가 일어나고, Bulk의 Potential은 일정하다고 되어있어 이해에 어려움이 있습니다.

즉, 등가회로로 표현할 땐 볼티지 드랍이 플라즈마 벌크에서 일어나는 자료와, Self Bias를 설명하는 자료에서는 Sheah에서 대부분 Voltage drop 이 일어난다고 하니 상충되는것으로 받아들여집니다.

 

이를 이해 하기위해 어떤 이론이 부족한지, 또는 잘못 알고 있는지를 모르겠어서, 다시 한번 질문 남기게 되었습니다.

귀한 시간 내주셔서 진심으로 감사드립니다..!

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77286
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20486
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57404
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68934
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92985
239 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
238 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 503
237 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 504
236 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 510
235 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 540
» Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 549
233 self bias [1] 552
232 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 557
231 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 585
230 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 599
229 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 604
228 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 606
227 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 608
226 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 641
225 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 642
224 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 694
223 plasma 공정 중 색변화 [1] 697
222 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 702
221 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 713
220 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 718

Boards


XE Login