번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76409
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
736 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 321
735 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 335
734 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 335
733 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 335
732 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 337
731 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 338
730 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 341
729 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 349
728 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 357
727 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 362
726 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 363
725 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 365
724 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 365
723 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 369
722 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 372
721 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 372
720 plasma modeling 관련 질문 [1] 375
719 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 377
718 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 379
717 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 382

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