고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24676
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61390
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73459
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105795
793 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 450
792 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 458
791 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 459
790 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 467
789 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 469
788 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 472
787 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 474
786 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 475
785 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 475
784 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 480
783 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 483
782 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 494
781 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 521
780 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 534
779 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 544
778 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 551
777 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 553
776 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 558
775 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 561
774 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 562

Boards


XE Login