안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68752
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
757 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 235
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 254
755 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 255
754 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 259
753 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 268
752 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 268
751 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 270
750 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 283
749 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 286
748 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 298
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 317
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 320
745 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 322
744 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 324
743 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 324
742 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 328
741 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 342
740 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 345
739 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 355
738 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 356

Boards


XE Login