Others Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
2023.10.19 19:41
안녕하십니까
플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.
혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다.
추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.
( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)
아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.
플라즈마 대면 재료는 플라즈마방전, 유지, 쉬스 전위 모두 영향을 미칩니다.
방전과 유지 관련한 이유를 찾아 보려면 DC breakdown, DC glow, 파센법칙 등을 찾아 공부해 보시면 좋습니다. 아킹을 이어서 이해하실 수 있습니다.
쉬스는 플라즈마가 대면하고 있는 접점면 근방에 형성되는 전위 분포로, 대면재료 표면 전위와 플라즈마 전위 사이의 전위 값이
쉬스 전기장의 세기가 됩니다. 이온의 가속 에너지를 결정하지요. 플라즈마 쉬스 또는 쉬스의 주제어로 반드시 공부해 보시기 바랍니다.
일단 소재 특성 보다는 소재가 가지는 전기적 특성에 촛점을 맞춰 공부해 보시기 바랍니다. 좋은 질문입니다.